“…Ранее была обнаружена эмиссия электронов с энергиями 300−500 eV, которые предположительно совместно с коротковолновым излучением эффективно ионизуют остаточный газ, превращая его в плазму за время менее 10 ns [9]. В то же время есть основания полагать, что температура плазмы, эмитируемой из катодного пятна искры, составляет порядка 1−5 eV [9,10]. Отметим, что при откачке вакуумного объема до давлений остаточного газа в диапазоне 0.1−1 Pa можно ожидать, что остаточный газ в основном состоит из молекул О 2 , N 2 и Н 2 О [11], сечения ионизации которых электронным ударом, отвечающие наибольшей эффективности процесса, лежат в интервале энергий электронов примерно 30−500 eV, причем максимуму сечения ионизации соответствует энергия электронов ∼ 100 eV [12].…”