“…7), означают, что эллипсомет-рия «не видит» ту шероховатость, которая хорошо видна на микро-фотографиях, и которая даёт рассеяние и, соответственно, падение отражения. Этот эффект нами ранее обсуждался и связан с принци-пиальным различием физических процессов, лежащих в основе этих двух методик [18,19]. Этот результат означает, что на поверх-ности формируются шероховатые структуры двух масштабов -микро-и наношероховатость (см.…”