1985
DOI: 10.1002/zaac.19855280908
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Neue Beobachtungen zum chemischen Transport von GeO2. VI. Temperaturabhängigkeit mit dem Transportmittel Chlor

Abstract: Im Temperaturgradienten T2 − T1 = 100 K ist die Abscheidung von tetragonalem GeO2 bei mittleren Transporttemperaturen T ≤ 1080 K kinetisch kontrolliert; für die (metastabile) hexagonale Modifikation trifft dies bei T ≤ 1150 K ebenfalls zu. In beiden Fällen ist nach Arrhenius für den geschwindigkeitsbestimmenden Schritt der Abscheidung die Aktivierungsenergie 21 kcal/Mol. Bei höheren Temperaturen entsprechen die Transportraten erwartungsgemäß einem diffusionskontrollierten Modell, wenn GeCl4, Cl2 und O2 als maß… Show more

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