Sowohl die Abscheidung von tetragonalem GeO2 bei mittleren Transporttemp T¯ ≦ 1080 K, als auch die von (metastabilem) hexagonalem GeO2 bei T¯ ≦ 1150 K sind im Temp.‐Gradienten T2‐T1 = 100 K kinetisch kontrolliert, und die Aktivierungsenergie (Arrhenius‐Gleichung) für den geschwindigkeitsbestimmenden Schritt beträgt in beiden Fällen 21 kcal mol‐1.