ÖZBu çalışmada katkısız CuO ve farklı konsantrasyonlarda Li-katkılı Li-ZnCuO filmler cam altlıklar üzerine SILAR yöntemi ile başarılı bir şekilde büyütüldü. Üretilen bu filmler metalurjik mikroskop (MM), X-ışını kırınımı (XRD) ve UV-Vis. spektroskopi ile karakterize edildi. MM sonuçları, CuO filmlerin morfolojisi üzerine Li-Zn ikili katkılama konsantrasyonunun önemli bir etkiye sahip olduğunu gösterdi. XRD verileri filmlerin nanoboyutta kristalize olduklarını ve kristallenme kalitesinin katkı konsantrasyonuna bağlı olarak değiştiğini açığa çıkardı. Uv-Vis. analiz sonuçları, filmlerin hem optik bant aralığı değerlerinde hem de geçirgenliklerinde katkı konsantrasyonuna bağlı olarak önemli farklılıkların oluştuğunu ortaya koydu.Anahtar Kelimeler: CuO, lityum, çinko, ikili katkılama, SILAR, ince film Effect of co-doping (Zn-Li) on structural, morphological, and optical properties of CuO films produced by SILAR method ABSTRACT In this study, un-doped CuO, and different concentrations of Li-doped Li-ZnCuO films were successfully synthesized on glass substrates by the SILAR method. The synthesized films are characterized by metallurgical microscope (MM), X-ray diffraction (XRD) and UV-Vis. spectroscopy. MM results demonstrated that Li-Zn codoping concentration has a significant influence on morphology of CuO film. XRD data revealed that the films are crystallized in nanoscale and the crystallinity is dependent on the doping concentration. Uv-Vis. analysis demonstrated that there are significant differences in the optical bad gap and transmittance values of the films as a function of doping concentration.