Obtaining the thin diamond-like films by means of the pulsed laser deposition method and examining their properties

Abstract

АннотацияКлючевые слова Проанализированы методы получения тонких пленок, описано применение метода импульсного лазерного осаждения для получения тонких алмазоподобных пленок. Рассмотрены различные способы измерения толщины тонких пленок. Описана лазерная установка PLD-400, включающая эксимерный лазер CL 7000 и вакуумную систему с турбомолекулярным насосом Turbovac 350 i. Экспериментальная часть посвящена выявлению оптимальных технологических параметров импульсного лазерного осаждения. Измерение толщины осуществлялось методом эллипсометрии. Выяснено, что способ очистки напыляемой поверхности влияет на устойчивость покрытия, а глубина вакуума и расстояние между мишенью и подложкой на толщину пленки. Алмазоподобные пленки, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, вакуумное напыление, лазерная абляция, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок