“…Короткоканальные эффекты в JL FinFET-транзисторах изучаются довольно широко [6][7][8], в то время как исследования влияния единичных оксидных или граничных ловушечных зарядов, вызывающих СТШ-сигналы в этих транзисторах, на ток стока, а также работы, связанные с применением этих транзисторов в логике ультранизкой мощности, находятся на начальной стадии. Есть работы, в которых основное внимание уделяется зависимости амплитуды СТШ-сигнала от технологии изготовления транзистора, температуры, напряжения на затворе и стоке в режиме аккумуляции [9,10], зависимости показателей эффективности работы беспереходного транзистора в логике ультранизкой мощности от уровня легирования канала, диэлектрической постоянной материала спейсера, сопротивления канала [11]. Однако имеется очень мало работ, в которых исследуется влияние технологических флуктуаций геометрических размеров и отклонений от предполагаемых форм при изготовлении наноразмерных JL FinFET-транзисторов на их шумовые характеристики.…”