Piezoresistive Dehnungsmesselemente für adaptronische Systeme

Abstract

Zusammenfassung Es werden zwei Sensortechnologien für den Einsatz zur Dehnungsmessung in adaptronischen Systemen vorgestellt. Inhomogen dotierte, piezoresistive Siliziumelemente und gedruckte Sensorschichten werden hinsichtlich ihrer Sensoreigenschaften verglichen. Die zum Verständnis nötigen Grundlagen beider Sensortechnologien werden erläutert. Neben dem statischen Übertragungsverhalten wird auch das Rauschen der Sensoren untersucht.Summary Two sensing technologies for realizing strain sensors, which can be integrated into adaptronic systems, are presented. Inhomogeniously doped silicon chips based on the piezoresistive principle and printed strain sensors are compared. The operating mode of each sensor type is explained. The static characteristics and the noise as one of the main internal error sources are discussed.