Resonant Reflectance in Silicon Nanorods Arrays

Abstract

The optical properties of ordered arrays of silicon nanorods (Si NRs) were investigated. Electron Beam Lithography followed by Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP-RIE) was used for Si NRs fabrication. Si NRs were chemically and electrically passivated through the deposition of TiONx nanolayer. Tunable color generation from vertical silicon nanorods is demonstrated too.

Спектральные Характеристики Отражения Микромассивов Кремниевых Нанопилларов-=sup=-*-=/Sup=-

“…Для формирования маски в резисте в виде ансамблей пилларов различного диаметра варьировалась электронная доза экспонирова-ния на точку. Подробно процесс формирования Si НП описан в наших работах [13][14][15][16]. Следует отметить, что минимальные размеры маски (представляющей собой пиллары в резисте) ограничены влиянием эффектов близости при экспонировании и адгезией пленки к подложке.…”

“…Таким образом, снижен порог наблюдаемого эффекта рассеяния. В нашей работе [15] было показано, что нанопиллары с встроенным p−n-переходом обладают высокой фоточувствительностью. Таким образом, такие селективно отражающие массивы нанопилларов пер-спективны для дисплеев, так как исполняя роль фильтра, могут осуществлять фотодетектирование.…”

“…Диэлектрические свойства такой среды меня-ются периодически в двух измерениях с характерным пространственным масштабом периодичности порядка оптической длины волны. Кроме этого, ранее мы одни из первых отработали методику формирования упо-рядоченных массивов Si НП посредством электронно-лучевой литографии на негативном резисте с последую-щим реактивным ионным травлением [13][14][15][16]. Травление кремниевых наноструктур через маску из алюминия [5] или хрома [8] приводит к дополнительному легированию кремния.…”

Generating Optical Birefringence and Chirality in Silicon Nanowire Dimers

“…Semiconductor nanowires are emerging as a versatile class of electromagnetic materials for controlling and enhancing light–matter interactions. Semiconductor nanowires have been used as color pixels with morphologically tunable spectral responses, − polarization-sensitive photodetectors, solar absorbers, − and tunable antennas to enhance radiative rates and emission directionalities of quantum emitters − much as their plamsonic counterparts , but with low ohmic losses. In addition, nanowires have shown potential to create unusual transverse spin angular momentum and to generate chiral forces that dominate over optical gradient forces .…”