Worn surfaces of biomedical fcc alloys X2CrNiMo18-15-3, CoCr29Mo6, X13CrMnMoN18-14-3 are generated by sliding wear in order to understand the mechanisms, which bring about small wear particles. Depending on the acting wear mechanisms the debris is produced by different sites of crack initiation and paths of crack propagation. Thus, the subsurface deformation mechanisms are investigated as well. This investigation revealed that the worn surfaces of all three materials consist of a nanocrystalline layer underneath which appearances of cyclic deformation are visible. With respect to the stacking fault energy X13CrMnMoN18-14-3 as well as the CoCr29Mo6 depict sliding bands, stacking faults, and strain induced e-martensite bringing about a sufficient support of the nanocrystalline layer. Thus, 80 to 500 nm fine globular and lamellar wear particles are just torn off this layer. In contrast to this, X2CrNiMo18-15-3 shows cell walls in distances of about 50 lm below the worn surfaces, which act as sites for crack initiation and propagation. The mean wear particles are about an order of magnitude bigger and range from 20 to 250 lm. Due to the fact that the nanocrystalline layer is not supported by the material underneath it has no distinct positive effect on the wear rate.Key words: sliding wear, wear mechanisms, austenitic steels, Cobase alloys, wear particlesIn der vorliegenden Untersuchung wurden die Verschleißmecha-nismen sowie die Mechanismen zur Entstehung von Verschleißpar-tikeln kubischflächenzentrierter Legierungen untersucht. Für die Metalle X2CrNiMo18-15-3, X13CrMnMoN18-14-3 und CoCr29-Mo6 konnten mittels Transmissionselektronenmikroskopie verschiedene Schädigungsmechanismen unterhalb der verschlissenen Oberfläche beobachtet werden. Durch die plastische Verformung im artgleichen Gleitverschleiß bildet sich in den untersuchten Werkstoffen an der Oberfläche eine nanokristalline Randschicht mit einer Dicke von 2 -5 lm aus. Ein Netzwerk aus Stapelfehlern und hexagonalem Martensit unterhalb der Oberfläche des hochstickstofflegierten Stahles und der Kobaltbasislegierung bewirkt eine Verfestigung des Grundgefüges und führt somit zu einer Stabilisierung der nanokristallinen Randschicht. Der schwächste Punkt und somit der Ort der Risseinleitung befindet sich folglich unmittelbar unter der Oberfläche. Die entstandenen Partikel entsprechen in Form und Größe einzelnen bzw. Agglomeraten von nanoskopischen Körnern und sind für den hochstickstofflegierten Stahl und die Kobaltbasislegierung zwischen 80 und 500 nm. Durch die höhere Stapelfehlerenergie und die damit verbundene Möglich-keit zum Klettern und Quergleitenden der Versetzungen bilden sich in dem Grundgefüge des Stahles X2CrNiMo18-15-3 Versetzungszellen, an denen Risseinleitung und -fortschritt stattfindet. Durch diese Schwächung des Grundgefüges ist eine Stabilisierung der nanokristallinen Randschicht nicht gewährleistet und es kommt zu der Bildung von Partikeln in einer Größenordnung von 20 bis 250 lm.