СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ШАРІВ ZnSO, ОДЕРЖАНИХ ТЕРМІЧНИМ ОКИСНЕННЯМ ТОНКИХ ПЛІВОК ZnS
В. В. ХомякЧернівецький національний університет імені Юрія Федьковича вул. Коцюбинського 2, v.khomyak@chnu.edu.ua
СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ШАРІВ ZnSO, ОДЕРЖАНИХ ТЕРМІЧНИМ ОКИСЛЕННЯМ ТОНКИХ ПЛІВОК ZnS
В. В. ХомякАнотація. Тонкі плівки ZnS, вирощені високочастотним (ВЧ) розпилюванням на c-Al 2 O 3 та Si підкладках при 300°С та проведено їх термічне окислення на повітрі в інтервалі температур від 450°С до 800°С. Проведення відпалу плівок ZnS приводить до утворення як шарів ZnSО з різним вмістом сірки і кисню, так і шарів чистого ZnО, про що свідчать результати XRD аналізу та спектри оптичного пропускання. Для цих плівок із оптичного пропускання була визначена залежність ширини забороненої зони від умов їх термічного окислення на повітрі.Ключові слова: ZnS, ZnO, магнетронне розпилювання, вирощування плівок, відпал
STRUCTURE AND OPTICALLY PROPERTIES OF THE ZnSO LAYERS PREPARED BY THERMAL OXIDATION OF ZnS THIN FILMS
V. V. KhomyakAbstract. We have grown ZnS thin films by means of the radiofrequency (RF) magnetron sputtering technique onto c-Al 2 O 3 and Si substrates at a temperature of 300°С. An effect of thermal annealing on air in a temperature range from 450°С to 800°С on the properties of the deposited films was studied