Проблема природы твердого состояния -одна из важнейших проб-лем современной физики. К разрешению ее физики идут различными путями и разнообразными методами.В последние полтора десятилетия для изучения твердого тела широко применяются методы радиоспектроскопии, в частности, электрон-ный парамагнитный резонанс (ЭПР) и двойной электронно-ядерный резо-нанс. С 1953 г. методом ЭПР начали исследоваться кристаллические полупроводники. Методы ЭПР и двойного резонанса позволили изучить ряд интересных свойств полупроводниковых кристаллов и физических процессов в них. Так, например, ЭПР мелких доноров и акцепторов в кремнии и германии дал возможность ответить на ряд вопросов, связан-ных с положением примесного атома в кристаллической решетке и со структурой энергетических зон в этих веществах. На экспериментах по ЭПР мелких донорных и акцепторных состояний базируется теория Кона и Латтинджера, позволяющая построить волновые функции этих состоя-ний. ЭПР мелких доноров в Si помогает разрешить одну из интересней-ших проблем твердого тела -проблему взаимодействия волн кристалли-ческой решетки с магнитными моментами электронов и ядер. Комбинация экспериментов по ЭПР мелких доноров в Si с экспериментами по фотопро-водимости дала возможность ответить на ряд вопросов, связанных с кине-тикой переходов между примесными атомами. С помощью метода ЭПР и двойного электронно-ядерного резонанса исследовалось взаимодей-ствие примесей с вакансиями в решетке, структура и процесс создания радиационных дефектов в кристаллах, образующихся при облучении крем-ния электронами больших энергий и быстрыми нейтронами. Интерес-ные результаты дало наблюдение ЭПР при деформации кристалла или при наложении электрического поля.В данном обзоре обсуждаются работы по ЭПР примесей, образующих мелкие и глубокие уровни в кремнии и германии, а также ЭПР радиа-ционных дефектов, возникающих в результате облучения кристаллов. Но следует отметить, что метод ЭПР уже используется для исследования бинарных и стеклообразных полупроводников. Он безусловно будет играть роль в исследовании природы полупроводимости некристалличе-ских полупроводников. Изучение ЭПР в полупроводниковых кристаллах представляет интерес для квантовой радиоэлектроники.В настоящей статье дается обзор работ, опубликованных до 1963 г. Не представляется возможным обсудить здесь технику и возможности ЭПР вообще. Желающие могут обратиться к монографиям С. А. Альт-4 УФН, т. LXXXIII. вып. 3