Анотація. Методом структурного аналізу досліджено фазовий склад, текстура і напружений стан в покриттях на основі систем Ti-N, Cr-N, Ti-Cr-N, отриманих методом плазмового осадження. Метод нанесення плазмових покриттів вакуумно-дуговим способом широко застосовується в практиці підприємств з метою підвищення надійності і довговічності, а також відновлення деталей машин і конструкцій. У досліджених фазах (TiN, Cr2N) виявлена текстура і значні стискаючі напруження, що досягають ~ 3 ГПа. Проаналізовано фактори, що впливають на рівень залишкових напружень, запропонована модель формування напруженого стану в покриттях нітриду титану і хрому.