“…Материалы на основе диоксида циркония широко используются в технике и медицине благодаря таким их свойствам, как высокие механические и оптические характеристики, низкая теплопроводность, высокая ионная проводимость, химическая и биологическая стойкость [1][2][3]. Эти свойства определяют возможности практического использования в микро-и оптоэлектронике в виде диэлектрических подложек и тонких пленок [4,5], делают чрезвычайно перспективным их применение в качестве твердых электролитов в виде пленок и тонких мембран в различных электрохимических устройствах для датчиков кислорода, кислородных насосов и твердооксидных топливных элементов [6,7], позволяют находить применение в фотонике в качестве пассивных, активных оптических материалов [8,9], способствуют их широкому использованию для защитных и термобарьерных покрытий [9,10], а также в медицине для имплантатов и зубных протезов.…”