Study on the Sensitivity of Diaphragm-Type SAW Pressure Sensor

A review of surface acoustic wave sensors: mechanisms, stability and future prospects

“…Also, they are compatible with microelectromechanical systems (MEMS) technologies (Ali and Prasad, 2020). To date, a large number of studies on SAW sensors have been carried out to achieve a wide variety of functions to measure physical/mechanical (Hribšek et al , 2010; Tang et al , 2022; Wang et al , 2020; Yu, 2018; Tang et al , 2015; Kim et al , 2019; Tang et al , 2020a, 2020b; Gamba et al , 2014, Zhao et al , 2022a, 2022b; Tang et al , 2021; Li et al , 2020a, 2020b; Lü et al , 2014; Tang et al , 2018a; Feng et al , 2019; Fan et al , 2022; Tang et al , 2018b; Pan et al , 2021; Memon et al , 2021; Müller et al , 2015; Tang et al , 2017; Li et al , 2019; Yang et al , 2023), chemical (Zhang et al , 2020; Kumar and Prajesh, 2022; Abraham et al , 2019; Afzal et al , 2013; Gao et al , 2018; Pasupuleti et al , 2022a; Kus et al , 2021; Vanotti et al , 2021; Pasupuleti et al , 2021; Pasupuleti et al , 2022b; Zhu et al , 2021a, 2021b; Wang et al , 2022a, 2022b, 2022c, 2022d; Devkota et al , 2022; Grabka et al , 2021; Gakhar et al , 2022; Kabir et al , 2015; Harathi et al , 2020; Yang et al , 2017; Lim et al , 2011; Ghosh et al , 2019; Kuznetsova et al , 2018; Fahim et al , 2021; Wang et al , 2015; Wang et al , 2022a, 2022b, 2022c, 2022d; Xiong et al , 2021; Luo et al , 2021; Li et al , 2020a, 2020b; Devkota et al , 2020; Nikolaou et al , 2016; Tian et al , 2023) and biological (Rana et al , 2028; Zhang et al , 2017; Prabakaran et al , 2022…”