“…2010 年德国 FBH 研究所 [31] 采用 6 阶表面布拉格光栅, 研制了 4 µm 条宽、4 mm 腔长的 1064 nm 波段 DBR 结 构激光器, 实现了线宽为 180 kHz@180 mW, 测出固有线宽为 2 kHz, 阈值电流为 65 mA@25 • C, 斜率 效率为 0.41 W/A@25 • C.针对高性能光纤激光器对 975 nm 波段窄线宽半导体激光泵浦源的需求, 美国伊利诺伊大学 (University of Illinois) 的 Coleman 等[32] 采用在宽条波导 (40 µm) 表面刻蚀光栅的方法, 研制出腔长 1.5 mm 的 974.8 nm 波段 DBR 激光器, 实现激光功率 500 mW, 激光线宽 350 kHz, SMSR > 40 dB 的 高功率输出. 随后, 德国 FBH 研究所[33] 采用普通紫外光刻和反应等离子体刻蚀技术制备出 80 阶表面 光栅 DBR 激光器, 在 970 nm 波段实现激光功率 6 W, 电光转化率 > 50%, 光参量积 < 1.8 mm×mrad, 激光线宽仅为 0.41 nm (130.7 GHz), 十分适用于泵浦光纤激光器.窄线宽红光激光器 (620∼650 nm 波段) 是激光光谱学、相干测量和全息技术的重要光源, 针对这 一需求, 德国 FBH 研究所[34] 提出一种 633 nm 波段的窄线宽 DBR 激光器, 激光器谐振腔总长 2 mm, 其中脊形增益区为 1.5 mm、光栅区为 0.5 mm, 实现了激光功率 10 mW@150 mA, 光谱线宽 < 1 MHz 的输出, 可连续工作 1700 h@14 mW. 随后, 该研究所的 Paschke 等[35] 报道了一种脊型波导 DBR 激 光器, 通过步进光刻和反应离子刻蚀在激光结构中引入光栅, 研制出波长为 626.5 nm 的 DBR 激光器, 实现输出功率 > 50 mW@ 0 • C, 激光线宽 < 1 MHz@150 mA, SMSR > 20 dB, 该技术可替代传统全固 态激光器作为量子信息实验光源, 通过降低光源模块体积, 可有效提升量子信息系统的微型化程度.…”