Представлены результаты получения наноостровковых пленок Sn, Al, Cu на диэлектрических подложках и исследования их морфологических и электропроводящих свойств. Показано, что исходная эффективная толщина плeнки существенно влияет на морфологические параметры наноостровков. При исследовании проводимости плeнок на этапе конденсации выявлен эффект спада проводимости после прекращения осаждения, который связан с процессами наноструктурирования. При исследовании температурных зависимостей проводимости плeнок обнаружены три области изменения электропроводности: низкотемпературная область активационного роста, область спада при наноструктурировании и высокотемпературная область активационного роста. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания N 2015/701(код проекта 3879) и Государственного совета Республики Крым в рамках гранта молодым учeным Республики Крым (пост. N п170-1/16 от 02.02.2016). DOI: 10.21883/FTT.2017.04.44263.197