1 Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», г. Москва, Россия 2 АО «ЭНПО Специализированные электронные системы», г. Москва, Россия 3 АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», г. Москва, Россия 4 Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
nausach@spels.ruТехнология КМОП КНИ перспективна для создания широкой номенклатуры радиочастотных аналого-цифровых приемо-передающих БИС, в том числе для производства аппаратуры космического назначения.Представлены результаты проектирования и исследований радиочастотных элементов библиотеки и набора функциональных блоков для отечественной технологии КМОП КНИ 180 нм. Библиотека элементов включает радиочастотные n-канальные МОП-транзисторы с частотой единичного усиления не менее 30 ГГц, МОП-варикапы, катушки индуктивности, конденсаторы, резисторы. Набор радиочастотных функциональных блоков включает усилители, генераторы, смесители, переключатели сигналов, делители частоты с рабочими частотами от 0,1 до 4 ГГц. Стойкость функциональных блоков к дозовому воздействию ионизирующего излучения составляет не менее 3·10 5 ед., тиристорный эффект и катастрофические отказы отсутствуют при воздействии тяжелых заряженных частиц с линейными потерями энергии до 80 МэВ·см 2 /мг. Результаты исследований подтверждают возможность создания приемо-передающих БИС космического применения с рабочими частотами до 3 ГГц по отечественной технологии КМОП КНИ 180 нм. Ключевые слова: КМОП КНИ; радиочастота; характеризация; функциональный блок; приемопередатчик; радиационная стойкость; БИС. Для цитирования: Исследования возможностей отечественной технологии КМОП КНИ 180 нм для создания радиочастотных приемо-передающих БИС космического назначения / Н.А. Усачев, В.В. Елесин, Г.Н. Назарова и др. // Изв. Kashirskoye sh., 31), head of the expert-analytical group, JSC «ENPO Specialized Electronic Systems» (Russia, 115409, Moscow, Kashirskoye sh., 31).