Sensores e Materiais (LAS) do INPE pela realização e análise das medidas de AFM. À minha mãe Luzinete Duarte e meu irmão Alessandro pelo amor e incentivo. Ao meu namorado Gabriel Landi, que tive a sorte de conhecer durante este trabalho, pelo apoio incondicional na conclusão da tese; por ter me dado forças nos momentos difíceis, pelo companheirismo, paciência, compreensão e principalmente por todo amor. Aos colegas do Laboratório de Vidros e Datação e amigos (em ordem alfabética): Thiago, pela amizade, apoio e momentos de descontração. Em especial, aos amigos Davinson, pela ajuda na utilização do sputtering e José, pelo auxílio na utilização do difratômetro de Raios-X. Aos amigos do LSI: Zaíra, Sérgio, Carlos Alberto, Ricardo Rangel, Marciel, entre outros, pela amizade, ajuda e companheirismo. Aos amigos que fiz na UFPE: Adalberto, Betson, Claudia, Marly, gaúcho e Thiago. Agradeço também às amigas: Juliana, Angélica e Regis pela amizade e momentos ímpares inestimáveis. Ao CNPq, pelo apoio financeiro por meio da bolsa de doutorado do Plano Nacional de Microeletrônica.A todos, que, direta ou indiretamente, contribuíram de alguma forma para a realização deste trabalho, meu muito obrigada! RESUMO Este trabalho tem como objetivo a confecção e caracterização de guias de onda de GeO 2 -PbO e TeO 2 -ZnO. Os guias de onda foram produzidos a partir de filmes finos e vidros usando diferentes procedimentos. Os filmes foram produzidos usando a técnica de RF "magnetron sputtering" e foram caracterizados por meio de várias análises. Em especial, a microscopia eletrônica de varredura foi indispensável para definição dos melhores processos para a construção dos guias de onda, o maior desafio do trabalho, pois não havia na literatura trabalhos desta natureza com os materiais em questão.Os guias nos filmes foram construídos sobre substratos de silício, utilizando-se os processos convencionais de microeletrônica: limpeza química, oxidação térmica, deposição por "sputtering", litografia óptica e corrosões úmidas e por plasma. Os diversos testes realizados com estes processos permitiram encontrar as melhores condições (corrosão por plasma de SF 6 , resiste AZ-5214 e remoção com microstripper 2001) para a implementação de guias de onda "rib" com largura de 1 à 10 m usando profundidades de 70 nm para o guia de GeO 2 -PbO e de 90 nm para o guia de TeO 2 -ZnO. Os guias de ondas "rib" de PbO-GeO 2 e TeO 2 -ZnO foram analisados opticamente quanto às perdas por propagação. Ambos apresentaram guiamento multimodo (TE) e os valores de atenuação experimentais obtidos foram de 2,2 dB/cm para o guia de GeO 2 -PbO e 1,5 dB/cm para o guia de TeO 2 -ZnO em 633 nm. Estes valores dependem da rugosidade superficial e lateral dos guias de ondas, da uniformidade dos filmes empregados e da diferença entre os índices de refração. Realizamos simulações do guiamento óptico em estruturas planares e tipo "rib", para obter as atenuações no guiamento. Os resultados calculados foram compatíveis aos encontrados experimentalmente Os guias de onda feitos com vidros ...