2004
DOI: 10.1134/1.1760866
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

The effect of thermal treatment on the structure of tantalum oxide films grown on titanium

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1
1

Citation Types

0
1
0
1

Year Published

2015
2015
2022
2022

Publication Types

Select...
5
1

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 7 publications
(2 citation statements)
references
References 12 publications
0
1
0
1
Order By: Relevance
“…В исследовании [15], например, подробно рассмотрено влияние температуры подложки на степень кристалличности и размер зерен оксидной пленки Ta 2 O 5 . Известно также влияние отжига пленок пентаоксида тантала в кислородосодержащей атмосфере на степень его кристалличности [16].…”
Section: особенности получения танталосодержащих покрытий на титане м...unclassified
“…В исследовании [15], например, подробно рассмотрено влияние температуры подложки на степень кристалличности и размер зерен оксидной пленки Ta 2 O 5 . Известно также влияние отжига пленок пентаоксида тантала в кислородосодержащей атмосфере на степень его кристалличности [16].…”
Section: особенности получения танталосодержащих покрытий на титане м...unclassified
“…The deposition of Ta has received some attention in literature [21][22][23][26][27][28][29][30]. Reactive sputter deposition of tantalum oxide films has been carried out on a plethora of substrates such as silicon, silicon dioxide, glass and platinum coated silicon [29][30][31][32][33][34] to investigate the structure, composition, optical and electrical properties of Ta oxide films.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%