“…Согласно 30 для ионов гелия с энергией 40 кэВ п тах = 3, для ионов гелия с энергией 100 кэВ fi max = 6. В соответствии со сказанным выше доза прекращения блистеринга уменьшается с увеличением угла падения ионов θ 25 , что связано с уменьшением размеров блистеров, а вследствие увеличения коэффициента распыления при увеличении угла падения уменьшается доза образования пористой поверхности.…”