Eingcgnngeii nm 24. Olitober 1975
InhsltsubersichtIrn ersten Teil der vorliegenden Arbeit wird iiber Messungen der Wachsturnsrate von Polymerschichten auf der Entlndlillgsrohrwand im Bereich der positiven Siiule in Neon @ = 1,ti Torr,Die diirchgefiihrten Berechnungcn der \V;Lchsturnsraten u s den Plasrnapwirneterii gehen von der Annahme atis, daR die Schichtbildrlng mnRgeblich durch den radialen urnbipolaren Diffusionsst,rorn tler Elektronen iind Ionen zur Rohrwand bestirnrnt wird. Entsprechend dieser Vorstellung erfolgt eine Modifizierung der Grundgleichungen, die in der Literatur bereits fur die Elektronenstmhlpolyrnerisntion bzw. fiir die Polyrneriskltion auf den Elektroden von Gasentladungen hergeleitet. wurden.Es zeigt sich, dnO dio lonerikornponente urn etwa den Faktor 8 wirksarnei ist nls die Elektronenkomponente. Diese Tatsiiclie erkliirt auch die Beobachtung, daR irn Ar-C,H,-Gernisch bei vergleichbaren Strorn-und Drnckbedingungen das Schichtwachstum merklich kleiner als im Ne-C,H,-Gemisch ist.