The oxidation of polycrystalline and (100)Cr at temperatures from 550-900°C and 5 x to 5 x lo-' torr oxygen pressure, choosing surface pretreatments such that only adherent. uniform, pore-free polycrystalline a-Cr,O, is produced, show long term parabolic growth kinetics with an activation energy -51 kcal mol-I. Oxide layers, produced by sequential oxidation in '*02 and I6O2. were suitable for the application of polyatomic SIMS to elucidate the extent of oxygen transport in the growing oxides and the mechanism for their growth. The data show that the predominant growth mechanism is by outward cation transport, with a small yet significant amount of inward oxygen diffusion down oxide grain boundaries. -1% of the oxide is created within the film as a result of this inward diffusion. Oxygen diffusion coefficients were found to be orders of magnitude higher than oxygen self diffusion coefficients in Cr,O, but much too low to account for the observed oxidation rates.Die Oxidation von polykristallinem und (100)-Cr bei Temperaturen zwischen 550 und 900°C und Sauerstoffbriicken zwischen 5lo-' und 5 . lo-' torr (bei Verwendung von Oberflachenvorbehandlungen, welche die ausschlieRliche Bildung von festhaftendem einheitlichem, porenfreiem polykristallinem a-Cr20, gewahrleisten) folgt langzeitig einem parabolischen Zeitgesetz mit emer Aktivierungsenergie von etwa 51 kcal mot-'. Die durch aufeinanderfolgende Oxidation in IsO2 und I6O2 erzeugten Oxidschichten konnten mittels polyatomarer SIMS analysiert werden, so daR das AusmaR des Sauerstofftransports in den wachsenden Oxidschichten und der Wachstumsmechanismus geklart werden konnten. Die Ergebnisse zeigten, daO der dominierende Wachstumsmechanismus der Kationentransport nach auRen ist und nur ein kleiner, jedoch nicht zu vernachlassigender Transport an Sauerstoff entlang der Oxidkorngrenzen nach innen erfolgt. Etwa l% des Oxids entsteht innerhalb der Zunderschicht durch diese Diffusion nach innen. Die Diffusionskoeffizienten von Sauerstoff waren um mehrere GroRenordnungen hoher als die Selbstdiffusionskoeffizienten des Sauerstoffs in Crz03, doch waren sie immer noch weitaus zu niedrig, urn die beobachteten Oxidationsgeschwindigkeiten erklaren zu konnen.