“…В литературе обычно встречается немного более низкий диапазон оптимальных давлений -от 0.1 до 0.6 Tорр [16,20,23], чем в данной работе, который составляет 0.4−0.8 Tорр. Стоит отметить, что электрическое сопротивление пленок всегда увеличивалось с увеличением давления, и в нашей работе наилучшие образцы обладают высокими значениями удельного электрического сопротивления по сравнению с исходным материалом и лучшими образцами, полученными методом ИЛО в работах [18,19,24], значение PF которых достигает 22−33 мкВт/см • K 2 . Следует отметить, что из-за особенностей роста пленок их электрические свойства зависят от морфологии и материала подложки, чем можно объяснить повышенные электрические сопротивления пленок в данной работе и что является предметом дальнейших исследований.…”