Three-dimensional stylus profilometry

Teague, E. Clayton; Scire, Fredric; Baker, Saul M.; Jensen, S.W.

doi:10.1016/0043-1648(82)90335-0

Cited by 82 publications

(21 citation statements)

References 5 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Podobny system został przedstawiony w [11] oraz [7], gdzie ponadto zastosowano inwersję, czyli odwrócenie obrazu względem płaszczyzny średniej w odniesieniu do aksonometrycznego obrazu powierzchni. Konstrukcję opartą na niezależnym elemencie odniesienia zaproponowano w [10]. Analizując niedokładność systemu w odniesieniu do topograficznej analizy powierzchni, autorzy [8] stwierdzili, że jest ona wynikiem dwóch składowych: niedokładności określenia współrzędnych x i y oraz niedokładności pomiaru wysokości rzędnej z. Całkowity średniokwadratowy błąd określenia punktu zbierania danych wyrazili wzorem: Całkowity błąd średniokwadratowy SH wyniósł ok. 0,93 µm.…”

Section: Błędy Skręcenia I Możliwości Przyrządów Pomiarowychunclassified

Experimental research of selected sources of errors in profile measurements of surface asperities

et al. 2017

View full text Add to dashboard Cite

Przedstawiono wyniki badań doświadczalnych związanych z wybranymi błędami w profilowych pomiarach nierówności powierzchni. Omówiono wpływ synchronizacji ścieżek pomiarowych, błędy skręcenia i możliwości przyrządów pomiarowych oraz zakłócenia pochodzące z otoczenia -zarówno wysoko-, jak i niskoczęstotliwościowe. Pokazano, że powtarzalność punktu początkowego i nawet powolne zmiany temperatury w otoczeniu przyrządu pomiarowego mają istotny wpływ na wiarygodność pomiarów. SŁOWA KLUCZOWE: pomiary profilowe, topografia powierzchniIn the paper experimental results of research regarding selected errors in profile measurements of surface asperities were presented. Influence of synchronization of measurement tracks, errors coming from rotation and possibilities of measurement devices as well as interference from conditions in both: high and low frequencies were discussed. It was shown that repeatability of the first point and even slow temperature changes around a measurement device have a great influence on fidelity of results.

show abstract

Section: Błędy Skręcenia I Możliwości Przyrządów Pomiarowychunclassified

Experimental research of selected sources of errors in profile measurements of surface asperities

et al. 2017

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…These have been thoroughly documented in previous publications [1][2][3][4][5][6][7][8], but a brief summary of the optical scattering work is given here as well.…”

Section: Related Workmentioning

confidence: 99%

“…To accomplish the second objective, NBS has developed a 3D stylus instrument [2]. This instrument enables one to obtain quantitative images of surface topography with a lateral resolution of less than 1 micrometer and vertical resolutions of less than 1 nm.…”

Section: _ Introduction_mentioning

confidence: 99%

“…The objectives of the joint NASA/NBS project were therefore: (1) to evaluate the performance of stylus instruments for measuring the topography of NTF model surfaces both for monitoring during fabrication and as an absolute measurement of topography, (2) to measure and characterize the true 3D topography of NTF model surfaces so that their characteristics could be related back to that of sand grain surfaces historically used to obtain data on surface roughness versus drag, and (3) to develop a prototy^--light scattering instrument that would allow for rapid assessment of the surface finish of a model surface.…”

Section: _ Introduction_mentioning

confidence: 99%

See 1 more Smart Citation

The wind tunnel model surface gauge for measuring roughness

Vorburger¹,

Gilsinn²,

Teague³

et al. 1987

View full text Add to dashboard Cite

“…In this application, the AFM is similar to a conventional stylus profilometer [5], which however has much poorer spatial resolution and works only with repulsive forces several orders of magnitude larger than can be detected by the AFM. The STM bas so far achieved better spatial resolution than the AFM, but it can only be used with electrica!…”

mentioning

confidence: 99%