Mittels Röntgenbeugung werden Phasenzusammensetzung und analytische Zusammensetzung von Eisensulfid untersucht, das durch Abscheidung aus der Gasphase erhalten wird. Die Auswertung der Winkellage des (104)‐Reflexes ermöglicht es, noch Unterschiede der Zusammensetzung von 0,1 Mol% an kleinen Probenmengen zu erfassen und die unterschiedliche Zusammensetzung der Bodenkörper im Auflösungs‐ und Abscheidungsraum nachzuweisen. Die untere Phasengrenze des Eisensulfids wurde zwischen 200°C und 1000°C zu 1,001 ± 0,003 bestimmt.