Vermessung der Strahlgeometrie eines Laserstrahls im Mikrometerbereich mit Hilfe eines mechanischen Choppers / Measurement of the micron sized radius of a laser beam using two scanning edges

Abstract

Schlagwörter: Lasermeßtechnik, Laserfokus, Strahlgeometrie Die Lasermeßtechnik hat in den letzten Jahren Auftrieb erhalten. Speziell die optischen Verfahren zur berührungs-losen Rauheitsmessung werden immer häufiger eingesetzt. Die Größe des fokussierten Laserstrahls spielt bei diesen Meßprinzipien eine entscheidende Rolle. Es wird ein Verfahren vorgestellt, das sich zur Erfassung der Strahlgeometrie auch kleinster Fokusradien eignet. Progress had been made in laser metrology. Especially recent optical techniques for roughness measurements are used more frequently. The size of the focused laser beam has a great influence on the measuring result. A method is presented to get the geometrical properties of a focused laser beam.