Vermessung einzelner Nanoinseln. Bestimmung von Halbleiterstrukturen mit Röntgenbeugung

Abstract

Deshalb sucht die Forschung nach alternativen Möglichkeiten, um schnellere Bauteile herzustellen. Eine davon beruht auf gezielten Materialverspannungen, eine andere auf der Verwendung von Legierungen. Beide Ansätze sind auch kombinierbar. Das Prinzip ist in beiden Fällen ähnlich. Die Schaltzeit eines Bauteils hängt von der Strecke ab, die ein Ladungsteilchen -im Halbleiter ein Elektron oder Loch -durchlaufen muss, sowie von seiner Geschwindigkeit. Letztere wird vom angelegten elektrischen Feld und von der Beweglichkeit des Teilchens in seiner Umgebung bestimmt, etwa eines Elektrons im Halbleiterkristall. Diese Beweglichkeit hängt vor allem von der effektiven Masse der Ladungsträger ab. Die effektive Masse, also die Trägheit des Teilchens gegenüber Beschleunigung im elektrischen Feld, wird nicht allein von der Masse des freien Teilchens bestimmt, sondern auch stark von seinen Wechselwirkungen mit dem Atomgitter, das es durchquert. 46 | Phys. Unserer Zeit | 1/2009 (40) Röntgenstrahlen mit dem Wellenvektor k i werden mit einem Satz refraktiver Röntgenlinsen auf einen kleinen Bereich der Probe fokussiert, die gestreute Strahlung k f nimmt ein CCD-Detektor auf.