Schlagwörter: Photoelektronenspektroskopie, Augerelektronenspektroskopie, OberflächenanalyseDie röntgenstrahlangeregte Photo-und Augerelektronenspektroskopie ESCA ist eine der am häufigsten angewandten Techniken zur Analyse der obersten Atomlagen von Festkörpern. Dabei können alle Arten von Festkörpern, ob organisch oder anorganisch, leitfähig oder nichtleitend in der Regel quantitativ und zerstörungsfrei analysiert werden. Der besondere Vorteil liegt darin, daß man {außer H und He) nicht nur alle Elemente erfaßt, sondern auch Aussagen über ihren Bindungszustand erhält. Dies wird an Beispielen aus den Bereichen Korrosion, Polymere und Katalyse demonstriert.
X-ray induced photoelectron and Auger electron spectroscopy ESCA is one of the most frequently used techniques for the analysis of the uppermost atom layers of solids. By this technique, solids of all kinds, whether organic or inorganic, conductive or non-conductive, can generally be analyzed quantitatively and non-destructively. Its special advantage is that in addition to detecting all elements (except H and He) it provides information on their binding states. This is demonstrated by examples from the fields of corrosion, polymers and catalysis.Die erfaßte Schichtdicke (Informationstiefe) ist gegeben durch die Austrittstiefe der Elektronen, die von der Festkörperoberfläche ohne Energieverlust emittiert werden. Sie beträgt nur wenige Monolagen, maximal etwa 10 nm (100 Â). Die Empfindlichkeitsunterschiede für die Hauptlinien eines Elements liegen innerhalb eines Faktor 10. Matrixeffekte sind wesentlich geringer, so daß gute Voraussetzungen für eine quantitative Analyse gegeben sind.Aufgrund der Oberflächenempfindlichkeit ist ESCA als mikrochemisches Verfahren einzuordnen. Obwohl die Oberflächenatome im Verhältnis zu den Volumenatomen nur eine Minderheit darstellen, ist die Nachweisempfindlichkeit der Methode hoch genug, um nach Spektren-Akkumulation noch Elementkonzentrationen von weniger als 0,1 Atom-% zu erfassen.