-Kristalle, die nach verschiedenen Methoden gezuchtet wurden (Gasphasentransport, Losungszuchtung), zeigen teilweise betriichtliche Differenzen in ihren physikalischen Eigenschaften. Ziel der Arbeit ist es, Zusammenhiinge zwischen der Herstellung von ZnSiP,, der Qualitiit der eingesetzten Ausgangsstoffe und den physikalischen Eigenschaften der halbleitenden Verbindung aufzuzeigen. Messungen des Hall-Effektes, der Leitfiihigkeit, der Lumineszenz und der Protonenruckstreuung ergaben Informationen uber die Perfektion und die Homogenitiit der Kristalle sowie uber Storstellen und Rekombinationszentren, die fiir die verschiedenen Zuchtungsmethoden charakteristisch sind. Der EinfluS der Dotierung durch verschiedene Elemente auf die Eigenschaften von losungsgezuchteten ZnSiP,-Kristallen wurde untersucht.Undoped ZnSiP, crystals grown by different methods (vapour phase transport, solution growth) show in part considerable differences in their physical properties. The connections between growth, quality of the basic materials and the physical properties of ZnSiP, will be shown. Measurements of Hall effect, resistivity, luminescence and backscattering o f protons yielded informations about the perfection and homogenity of the crystals and about the impurities and recombination centres characteristically for the various growth methods. The influence of doping by different elements on the properties of solution grown ZnSiP, crystals was investigated.