Высокоточная характеризация сверхмногопериодных AlGaAs/GaAs-сверхрешеток с помощью рентгеновской рефлектометрии на синхротронном источнике

Abstract

The morphology of Al0.3Ga0.7As / GaAs superlattices grown by molecular beam epitaxy was determined by X-ray reflectometry (including a synchrotron radiation source) and photoluminescence. The thicknesses of the superlattice layers with 100 periods, found using laboratory and synchrotron studies, correlate with an accuracy of ~ 1%. At the synchrotron, beginning with high (> 4−5) Bragg orders, reflection peaks were found that are not observed in measurements with a diffractometer and are apparently associated with the technological features of the growth of such structures. It follows from the analysis that the peaks correspond to modulation in the superlattice with a period 3–5 times greater and characterize the scatter of the thicknesses over the structure depth by several percent.

Терагерцовые излучатели с активной областью на основе сверхмногопериодных решеток AlGaAs/GaAs

“…Результаты этих исследований показали, что выращенные СМП-структуры обладали высоким структурным совершенством, а отклонения толщин слоев и шероховатость интерфейсов были незначительными [25 -27]. Для ряда структур также были получены спектры фотолюминесценции (ФЛ) [26]. Положение пиков ФЛ с удовлетворительной точностью соответствует положению уровней, полученных с помощью методов численного моделирования.…”

Получение Регулярных Металлических И Диэлектрических Микроструктур На Основе Модифицированных При Облучении Полимерных Пленок

“…Таким образом, рассматриваемые микроструктуры являются перспективными в качестве оптических элементов для решения задач повышения эффективности детектирования ИК-излучения, усиления сигнала и конверсии в видимый и ближний ИК-диапазоны. Следует отметить, что проблема создания структур, период которых выдержан с высокой точностью (разброс меньше 1%), актуальна и обсуждается применительно к разработке новых оптических элементов и источников лазерного излучения [7][8][9].…”