Исследование структуры и свойств покрытий Mo-(Y)-Zr-Si-B, полученных методом магнетронного распыления

Abstract

В работе проведены исследование влияния добавки Y на структуру и свойства покрытий Mo-Zr-Si-B, полученных магнетронным распылением мозаичной мишени ((90%MoSi2 + 10%MoB) + 5%ZrB2)/Y. Установлено, что легирование иттрием приводит к снижению скорости роста в 1.2–1.7 раза. Размер кристаллитов h-MoSi2 уменьшался в 1.5–7.5 раза с увеличением концентрации Y от 0 до 4.8 ат.%. Максимальной твердостью 23 ГПа обладали базовое покрытие и покрытие, полученное с использованием 1 сегмента Y. Использование 2 и 3-х сегментов иттрия привело снижению Н на 9–14%. Введение иттрия положительно влияло на жаростойкость покрытий при температуре 1000°C.

Investigation of the tribological characteristics of Ta–Zr–Si–B–C–N coatings

“…Для повышения механических и трибологических свойств, а также жаростойкости силицид тантала легируют различными элементами, такими как С, N, B, Hf и Zr [8][9][10][11][12][13][14][15][16]. Покрытие TaSi 2 , легированное углеродом, демонстрирует хорошие показатели стойкости к высокотемпературной эрозии при тепловом потоке 2,4 МВт/ м 2 [9] и жаростойкости при t = 900 °С в течение более 233 ч [10].…”

“…% N. Покрытие Ta-Si-N характеризуется хорошими жаростойкостью и термической стабильно-стью при t = 700 °С [12]. Ранее нами были проведены исследования структуры и свойств покрытий системы Ta-Si-N [13]. Результаты показали, что покрытия с оптимальной концентрацией азота обладали максимальными значениями твердости (24 ГПа) и упругого восстановления (77 %), а также демонстрировали высокую жаростойкость при t = 1200 °С.…”