Особливості Проведення Досліджень Мікрогеометрії Та Поверхневих Властивостей Діелектричних Матеріалів Для Мікро- І Наноелектроніки

Abstract

Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» проспект Перемоги, 37, Київ, 03056, Україна 2 Черкаський державний технологічний університет бульвар Шевченка, 460, Черкаси, 18006, Україна ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО-І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ У статті коротко розглянуті особливості проведення дослідження мікрогеометрії і поверхневих властивостей діелектричних матеріалів для мікро-і наноелектроніки із застосуванням методу АСМ. Показано переваги та обмеження застосування цього методу для дослідження поверхні і поверхневих властивостей діелектриків.