Формирование Микротурбин Методом Прямой Лазерной Записи По Фоторезисту

Abstract

Описан метод формирования микромеханических элементов для приема вращательного момента (микротурбин) от вихревых световых пучков. Приведены результаты экспериментального изготовления большого количества микротурбин. Приводятся результаты измерения формы микротурбин на оптическом микроскопе, интерферометре белого света ZYGO и электронном микроскопе.