Описан метод формирования микромеханических элементов для приема вращательного момента (микротурбин) от вихревых световых пучков. Приведены результаты экспериментального изготовления большого количества микротурбин. Приводятся результаты измерения формы микротурбин на оптическом микроскопе, интерферометре белого света ZYGO и электронном микроскопе.

We have considered the simplest lens consisting of refractive and diffractive lenses, in which the shape of the diffractive lens compensates for the main geometric aberrations. We have considered a way to calculate such a system based on minimizing chromatic aberration. We presented the results of an experiment in which the modulation transfer function of a hybrid lens was directly determined.