2017
DOI: 10.21883/pjtf.2017.15.44864.16434
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Холловский Микроскоп Для Измерения Магнитных Свойств Пленок

Abstract: Описан магнитный измерительный микроскоп, обладающий пространственным разрешением определения координат токовых диполей 3 mum. В качестве первичного преобразователя используется пленочный датчик Холла с габаритами чувствительной зоны 250x 400 mum, размещенный на расстоянии 3 mm от плоскости сканирования. Сверхразрешение по сравнению с размерами датчика и расстоянием до объекта достигнуто путем использования априорной информации об объекте сканирования. Предложен способ калибровки магнитного микроскопа и измере… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1
1

Citation Types

0
0
0
3

Year Published

2017
2017
2022
2022

Publication Types

Select...
3

Relationship

1
2

Authors

Journals

citations
Cited by 3 publications
(3 citation statements)
references
References 3 publications
0
0
0
3
Order By: Relevance
“…Испытания показали, что благодаря использованию фиксаторов начала и конца перемещения столиков и применения принципа дифференциального перемещения разрешение системы позиционирования по трем координатам было лучше 1 µm. В [11] программноуправляемая система перемещения станка EP2006H (фирма Everprecision, Тайвань) обеспечивала точность позиционирования ∼ 5 µm по осям X, Y и ∼ 9 µm по оси Z при комнатной температуре. С целью достижения более высокого пространственного разрешения 3 µm автору пришлось промоделировать и корректировать показания ПХ для образца с ранее известной топологией.…”
Section: характеристики микроскопаunclassified
See 1 more Smart Citation
“…Испытания показали, что благодаря использованию фиксаторов начала и конца перемещения столиков и применения принципа дифференциального перемещения разрешение системы позиционирования по трем координатам было лучше 1 µm. В [11] программноуправляемая система перемещения станка EP2006H (фирма Everprecision, Тайвань) обеспечивала точность позиционирования ∼ 5 µm по осям X, Y и ∼ 9 µm по оси Z при комнатной температуре. С целью достижения более высокого пространственного разрешения 3 µm автору пришлось промоделировать и корректировать показания ПХ для образца с ранее известной топологией.…”
Section: характеристики микроскопаunclassified
“…Использование для наблюдения картины распределения ЗМП микроскопов на основе пьезопреобразователей с верхним пределом микроперемещений в несколько десятков µm вызывает определенные трудности, требуя сложных схем коррекции из-за гистерезиса и нелинейности перемещения [8]. Холловские микроскопы [7,[9][10][11] непосредственно измеряют индукцию поля и позволяют с высокой линейностью визуализировать магнитное мик-росостояние протяженных объектов. Однако они имеют сравнительно низкие пространственное разрешение и чувствительность к регистрируемому сигналу, что не позволяет отчетливо выделить спектры сигналов отклика объектов на слабое магнитное поле.…”
Section: Introductionunclassified
“…Соотношения же Онзагера симметрии кинетических коэффициентов [3] получены в линейном приближении для однородного магнитного поля. Возможность их при-менения для нелинейных систем требует обоснования.Для стационарной, однородной и нелинейной проводя-щей среды, находящейся в однородном магнитном поле, в релаксационном приближении были получены соотно-шения взаимности для тензора нелинейной проводимо-сти [4]. Однако их экспериментальная проверка не пред-ставляется возможной, так как измерительные зонды, вводимые в проводящую среду, исказят однородность полей в ней.…”
unclassified