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Mit dem LaPlas‐Verfahren lassen sich, alternativ zu den konventionellen vakuumbasierten CVD‐Verfahren, hochwertige dünne polykristalline Diamantschichten abscheiden. Das Verfahren arbeitet ohne Prozesskammer bei Atmosphärendruck und ist daher für eine lokale Beschichtung auch großer, sperriger Bauteile geeignet. Beschichtbar sind unterschiedliche Werkstoffe (z.B. Mo), insbesondere Hartstoffe (z.B.WC‐Co, Si3N4). Basierend auf der Beimischung von Stickstoff in das Prozessgasgemisch wurden Schichten mit modifizierten Eigenschaften abgeschieden. Die Schichten besitzen eine niedrigere Reibzahl gegen Al2O3 als eine unter Standardbedingungen erzeugte polykristalline Diamantschicht und verschleißen den Gegenkröper um 50% weniger. Diese Eigenschaften können sehr interessant für den Verschleißschutz sein, insbesondere wenn kein Verschleiß beider Reibpartner erwünscht ist. Damit sind diese Schichten für Gleitpaarungen von großem Interesse, da der Systemverschleiß gering gehalten werden kann.

In this study possibilities are presented how a laser plasma CVD process (LaPlas) can be modified in order to generate nanocrystalline diamonds. With the LaPlas process it is possible to deposit diamond coatings on surfaces. It can be shown that the crystallite size can be modified towards smaller grains. The crystallite size was reduced below 1 lm. An applied cutting force test of some coatings shows the resulting performance.