Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui prosedur pembuatan angket online dengan Google Form sebagai instrumen kinerja siswa dan respon siswa dalam menggunakannya. Metode deskriptif kualitatif dilakukan dalam penelitian ini menggunakan kuesioner dan studi dokumentasi. Partisipan dalam penelitian ini adalah siswa jurusan IPA. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa prosedur pengembangan angket penilaian kinerja siswa pada proses pembelajaran menggunakan Google Form dimulai dari perencanaan, pembuatan, penerbitan dan pemberian petunjuk penggunaan. Data tanggapan siswa menunjukkan bahwa sebagian besar siswa suka menggunakan angket online (65%), mudah diakses (40%), waktu menjadi lebih hemat (40%), hemat kertas (50%), tahu cara menggunakannya (55%), tampilan mudah dimengerti (65%), Bahasa kuesioner sesuai (65%), menjawab lebih mudah menggunakan google form (50%), tertarik menjawab pertanyaan dengan google form (70%). Jadi, Google Form sangat berguna bagi guru dan siswa untuk mengumpulkan data kinerja siswa.