The complex structure of the diamond nucleation layer on iridium has been studied by X-ray absorption near edge structure (XANES) in combination with X-ray photoemission electron microscopy (X-PEEM). In contrast to all other substrate materials, on iridium the diamond nuclei formed by the bias enhanced nucleation (BEN) procedure gather in islands (“domains”) with micron-size lateral dimensions. Laterally resolved XANES spectra of the carbon-K absorption edge clearly show the difference in carbon bonding structure outside and inside the domain area. A positive feedback mechanism for the nucleation and lateral crystal growth are two alternative concepts which can explain the domain formation.

Amorphe Kohlenstoff‐ und Kohlenstoffnitridschichten werden vielseitig als Schutzschichten in der Industrie verwandt. Insbesondere werden in der Magnetfestplattenspeicherindustrie verschleißfeste sauerstoffundurchlässige Schutzschichten von wenigen Nanometern Dicke benötigt. Röntgen‐Photoemissions‐Elektronenmikroskopie (X‐PEEM) stellt eine Analysetechnik zur Charakterisierung u.a. von Kohlenstoffschutzschichten dar, da sich Informationen über die lokale Bindungsumgebung aus der Röntgenabsorptions‐Nahkantenstruktur (XANES) gewinnen lassen. CVD‐DLC‐ sowie a‐C‐ und CNx‐Schichten wurden analysiert. Für die a‐C‐Schichten auf Si (100) wurde der Anteil sp2‐hybridisierter Atome bestimmt und mit den mechanischen Eigenschaften der Schicht korreliert. An der CNx‐Schicht einer kommerziellen Festspeicherplatte wurde ein Kratztest durchgeführt und der Defekt anschließend mit X‐PEEM analysiert.

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