ВведениеВ современном производстве наблюдается тенденция увеличения использо-вания нанообъектов и наноструктурированных покрытий в таких областях, как энергетика, электроника, медицина, химическая и военная промышленность [1,2]. В связи с возрастающей потребностью нанообъектов и наноструктурированных покрытий прибегают к интенсификации процессов их синтеза, что часто негативно сказывается на качестве конечного продукта. Одним из решений данной проблемы является проведение непрерывного контроля технологических параметров в целях управления процессом синтеза нанообъектов и наноструктурированных покрытий.Как показывает практика, синтез углеродных нанообъектов, обычно проводят на катализаторах, образующих карбиды (например, никель, железо, кобальт и дру-гие металлы, стоящие до водорода в ряду стандартных электродных потенциалов) и не образующих карбиды (например, медь, серебро, золото, платина и другие металлы, имеющие более положительный потенциал, чем потенциал водорода) [3,4]. Металлические карбидообразующие катализаторы в основном применяются при синтезе углеродных нанообъектов методом пиролиза углеводородов при тем-пературах порядка 500…900 °C. Следовательно пиролитическим методом невоз-можно производить синтез нанообъектов на пластмассах, легкоплавких сплавах и других поверхностях, не допускающих нагрева до таких температур. Для этого применим другой способ синтеза нанообъектов -напыление в вакууме [5, 6].
Постановка задачи вакуумного синтеза нанообъектовСинтез нанообъектов на подложке осуществляется на катализаторах, нане-сенных на ее поверхность методами распределения раствора суспензии катализа-тора с помощью центрифуги, выпариванием раствора катализатора или напыле-
