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Polycrystalline iron is implanted with nitrogen ions at energies from 30 t o 60 keV and with doses from 1 x 10l6 to 1 x l0ls ions/cm2 at room temperature. The iron nitride phases after ion implantation, formation of phases and phase transformation are investigated by high-voltage electron microscope and selected area diffraction after thermal treatment. The analyzed iron nitride phases are represented in a state diagram in dependence of implantation dose and temperature. Additionally, different iron carbonitride and iron carbide phases can be proved. The formation and transformation of iron nitride phases after ion implantation can be described by a model of implantation-induced transformation.Polykristallines Eisen wird mit Stickstoffionen eiiier Energie von 30 bis ti0 key und eiiier Dosis von 1 x 10l6 bis 1 x 101810nen/cm2 bei Raumtemperatur implantiert. Die Eisennitridphasen nach Implantation, die Bildung und die Umwandlung der Phasen wird mit der Hochstspannungs-Elektronenmikroskopie und der Feinbereichsbeugung untersucht. Die analysierten Eisennitridphasen werden in Abhangigkeit von der Implantationsdosis und der Temperatur in einem Zustandsdiagramm dargestellt. Zusatzlich konnen verschiedene Eisenkarbonitrid-und Eisenkarbidphasen nachgewiesen werden. Die Bildung und die Umwandlung der Eisennitridphasen nach Stickstoffimplantation kann mit dem Model1 der implantationsinduzierten Transformation beschrieben werden.

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