ABSTRAK Banyak peneliti telah mengembangkan berbagai jenis biosensor, salah satunya sensor pH memanfaatkan MOSFET. Penelitian awal digunakan ISFET sebagai pendeteksi derajat keasamaan, seiring perkembangan teknologi digunakan EGFET sebagai media pendeteksi pH. Karena kelebihan dari EGFET yang lebih stabil dan tahan terhadap gangguan dari luar. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui performansi dari sensor pH berbasis Gold-EGFET dengan tingkat ketebalan lapisan membrane sensor yang berbeda pada pengukuran menggunakan pH buffer yang berbeda. Penelitian ini akan menguji tingkat sensitivitas dan linearitas dari pengukuran pH dengan ketebalan lapisan deteksi dari membrane sensor. ABSTRACT Many researchers have developed various types of biosensors, one of which is a pH sensor utilizing MOSFET. Initial research used ISFET as a detector of the degree of acidity, along with technological developments used EGFET as a pH detection medium because the advantages of EGFET are more stable and resistant to outside interference. This study aims to determine the performance of a Gold-EGFET-based pH sensor with a different level of membrane sensor thickness on measurements using different pH buffers. This study will test the sensitivity and linearity of the pH measurement with the thickness of the detection layer of the sensor membrane.