Penelitian ini memiliki tujuan menganalisis pembelajaran inkuiri terbimbing berbasis literasi sains meliputi metode, media pembelajaran, kemampuan yang diukur dan instrumen penilaian dalam pembelajaran fisika, materi fisika. Penelitian ini merupakan penelitian kepustakaan dengan analisis bibliometrik. Pengumpulan data sekunder penelitian menggunakan Publish or Perish (PoP) berupa artikel lima tahun terakhir (2016-2020) pada google scholar dan scopus. Hasil analisis 21 artikel penelitian terdahulu menyimpulkan bahwa model inkuiri terbimbing mempengaruhi kemampuan literasi sains menggunakan metode penelitian eksperimen dalam pembelajaran. Media pembelajaran paper test digunakan untuk mengoptimalkan literasi siswa. Kemampuan yang diukur menggunakan model inkuiri terbimbing berbasis literasi sains, antara lain peningkatan literasi sains siswa, pemahaman konsep fisika, pemecahan masalah, motivasi belajar, serta hasil belajar siswa. Instrumen penilaian tes tulis seperti multiple choice, essay, uraian, dan deskripsi sering digunakan dengan pengembangan butir soal menyesuaikan indikator literasi sains. Materi fisika bahasaan hukum Newton berkaitan dengan fenomena ilmiah sering diujikan dalam literasi sains. Riset ini diharapkan sebagai referensi penelitian selanjutnya dalam menganalisis penerapan model inkuiri terbimbing berbasis literasi sains dalam pembelajaran fisika secara lengkap dan mendalam.