О. Г. Бобрович Белорусский государственный технологический университет
ФОРМИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ МЕТОДОМ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ КОБАЛЬТА И МОЛИБДЕНА НА ГРАФИТВ статье рассматривается элементный состав покрытия, распределение элементов в покрытии и их химические связи при формировании структуры покрытие − подложка в системах Мо − графит и Со − графит, создаваемых нанесением многокомпонентного, металлического (Мо, Со) покрытия в условиях ассистирования ионами Мо + и Со + соответственно. Анализ выполнен с применением методов резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. В покрытии, кроме осаждаемого металла, содержатся высокие концентрации кислорода и углерода, а также кремний в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. Результаты анализа спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показали, что в системе Мо − графит молибден находится как в виде металлического Мо, так и виде оксида МоО 2 . Толщина покрытия увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Со + , Мо + от 20 до 7 кВ и зависит как от отношения плотности потока ионов J i к плотности потока нанесенных атомов J а (J i / J а ), так и типа осаждаемого на графит металла. Установлено, что оптимальное отношение J i / J а , при котором достигается наибольшая толщина Со-покрытий, составляет 0,01, а для Мо-покрытия -0,18. Рассчитанные скорости осаждения покрытий составляли от 0,3 до 0,9 нм/мин для системы Со − графит и от 0,2 до 0,4 нм /мин для систем Мо − графит.Ключевые слова: графит, Со-покрытие, Мо-покрытие, ионно-ассистируемое нанесение покрытия.Для цитирования: Бобрович О. Г. Формирование поверхностного слоя методом вакуумного осаждения кобальта и молибдена на графит // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. 2021. № 2 (248). С. 47-52.
