Application of fiber lasers in electronics and in microsystems technology

Abstract

Przedstawiono wybrane wyniki zastosowania lasera włóknowego w wytwarzaniu elementów mikrosystemów i biernych elementów elektroniki o submilimetrowych wymiarach z materiałów półprze-wodnikowych, ceramicznych i przewodzących. Technologie laserowe w tej skali wykorzystują ablacyjne oddziaływanie wiązki laserowej. Optymalizowanie procesów w dużej mierze było wspierane modelowaniem komputerowym. Wyniki potwierdzają możli-wość precyzyjnej mikroobróbki za pomocą lasera generującego impulsy nanosekundowe. SŁOWA KLUCZOWE: impulsy nanosekundowe, lasery włóknowe, ablacja, krzem, ceramika Selected results of the use of fiber laser for producing elements of microsystems and passive electronic elements of submillimeter dimensions in semiconductor, ceramic and conductive materials are presented. Laser technology at this scale uses ablative interaction of laser beam. Optimization of processes was significantly supported by computer modelling. The results confirm the possibility of precise micromachining using a laser with nanosecond pulses.

Laser Technologies in Microsystems

“…This problem has particularly strong impact in the manufacturing cantilevers and other movable elements and the microstructures of complex geometry and large values of the aspect ratio, such as deep channels, grooves, microcontainers. As shown in [1,4,9] laser technologies in these applications on a micrometers scale allow disclaimer of expensive masks and simultaneously -elimination the risk of damage of the components already produced. In this way, they are also low cost technologies.…”