Aufbau und Charakterisierung eines kalorimetrischen Strömungssensors in Dickschichttechnik (Development and Characterization of a Calorimetric Flow Sensor Realized in Thick-Film Technology)

Abstract

Gestützt auf eine Finite-Elemente-Analyse wurde ein kalorimetrischer Strömungssensor in Dickschichttechnik auf einem Stahlrohr aufgebaut. Die Sensorkennlinie wurde sowohl experimentell als auch aufgrund der numerischen Simulation ermittelt. Die erforderlichen Maßnahmen zur Erweiterung des linearen Kennlinienbereichs und zur Erhöhung des Signalpegels werden aufgezeigt. Schlagwörter: Strömungssensor, Dickschichttechnik, Rundsiebdruck Development and Characterization of a Calorimetric Flow Sensor Realized in Thick-Film TechnologyBased on the results of Finite Element Analyses a calorimetric flow-sensor has been realized on a steel tube by thick-film technology. The sensor characteristics have been determined experimentally as well as by numerical simulation. The paper discusses procedures required to increase the linearity range of the sensor characteristic and sensor signal output.