Kunjungan wisatawan mancanegara kembali meningkat seiring menurunkan kasus COVID-19, namun belum selaras dengan minat kunjung ulang wisatawan dalam destinasi wisata religi masjid di Kota Batam. Wisata religi adalah jenis wisata yang dikategorikan dalam wisata minat khusus. Untuk mengetahui besarnya minat wisatawan mancanegara berkunjung kembali ke suatu objek wisata maka diperlukan analisis mengenai pengaruh faktor pendorong edukasi, interpersonal, fisiologis dan faktor penarik atraksi wisata, amenitas, aksesibilitas, dan ancillary service terhadap minat kunjung ulang wisatawan mancanegara pada destinasi wisata religi masjid di Kota Batam. Penelitian ini merupakan penelitian kuantitatif dengan metode eksplanasi. Pengambilan sampel dilakukan dengan teknik purposive sampling metode accidental sampling. Teknik penarikan sampel dalam penelitian ini menggunakan rumus Slovin dengan margin error 10%, diperoleh jumlah minimum sampel sebesar 100 sampel. Hasil pengumpulan data diperoleh 102 sampel melalui kuesioner. Analisis data menggunakan regresi linear berganda. Hasil penelitian menunjukkan faktor pendorong edukasi, interpersonal, fisiologis dan faktor penarik atraksi wisata, amenitas, aksesibilitas, dan ancillary service berpengaruh positif dan signifikan terhadap minat kunjung ulang wisatawan mancanegara pada destinasi wisata religi masjid di Kota Batam. Hasil ini memberikan implikasi bahwa pihak manajemen pengelola wisata atau pemerintah daerah dapat memperkuat faktor tarikan dengan variabel amenitas. Hal yang harus diperkuat adalah peningkatan kelengkapan fasilitas kegiatan wisata religi.