CdS‐Einkristalle, die in strömender Atmosphäre in Quarzglasrohren nach verschiedenen Verfahrensvarianten gezüchtet worden sind, werden spektralanalytisch in bezug auf Reinheit und durch Ätzen in bezug auf die Konzentration ihrer Baufehler verglichen. Durch Synthese (Cd + H2S, Cd + S2 + H2) hergestellte Kristalle sind im Durchschnitt reiner und an Strukturfehlern mit Dimension >I ärmer als die durch Umsublimation in verschiedenen Trägergasgemischen (N2, N2, + H2, N2 + H2 + H2S, N2 + S2) hergestellten Kristalle. Von den durch Umsublimation gewonnenen Kristallen zeichnen sich die in reinem Stickstoff gezüchteten Kristalle in bezug auf Reinheit und Baufehlerfreiheit aus und ergeben gleiche Werte wie die synthetisierten Kristalle. Die Ergebnisse werden besonders im Hinblick auf den Transport fremder Elemente diskutiert.