Electron Mirror Observations of Impurity Segregations on a Silicon Surface

Abstract

Electron microscope mirror observations are made of surface microfields arising from lithium impurity segregations on silicon crystals. Rapid surface drift of the lithium ions is observed on dislocation areas. When the lithium impurity is partially evaporated from the crystal the surface becomes inhomogeneous. This is considered to be due to a difference between the rate of evaporat,ion from areas with, and without, defects. Local microfields with [B--Li+] ionic binding and their dissociation are also observed. Beobachtungen der Oberflachenmikrofelder, die durch Lithiumverunreinigungsabscheidungen auf Siliziumkristallen verursacht sind, werden mit Hilfe eines Elektronenspiegelmikroskops durchgefiihrt. I n Versetzungsebenen wird schnelle Oberflachendrift von Lithiumionen beobachtet. Wenn die Lithiumverunreinigung teilweise vom Kristall abgedampft wird, wird ein inhomogenes Bild der Oberflache erhalten. Das wird durch unterschiedliche Verdampfungsgeschwindigkeiten an den storstellenbehafteten und den storstellenfreien Oberflachenteilen erklart. Lokale Mikrofelder, die mit der Bildung von Ionenpaaren [B--Lit] und ihrer Dissoziation verbunden sind, werden ebenfalls beobachtet.

Electron Mirror Microscopic Investigation of Surface Diffusion of Lithium in Silicon

“…The t e c h n i q u e and a p p l i c a t i o n of the e l e c t r o n m i r r o r microscope t o t h e examination of e l e c t r i c a l m i c r o p o t e n t i a l s on semiconductor s u r f a c e s were d e s c r i b e d i n (1,2). I n t h e p r e s e n t work t h e two-specimen p-n j u n c t i o n method was a p p l i …”