Το κύριο αντικείμενο της παρούσας διατριβής είναι η ανάπτυξη και μελέτη λειτουργίας εύκαμπτων αισθητήρων παραμόρφωσης με βάση μεταλλικά νανοσωματίδια πλατίνας. Επιπλέον, παρουσιάζεται πώς αναπτύχθηκαν λεπτά φιλμ από Al2O3 (αλουμίνα) από την τεχνική εναπόθεσης ατομικής στρώσης (Atonic Layer Deposition ALD) για την προστασία των αισθητήρων από την υγρασία. Πραγματοποιήθηκε μελέτη σχετικά με τα χαρακτηριστικά των αισθητήρων παραμόρφωσης πριν και μετά την απόθεση της αλουμίνας. Επιπρόσθετα, η ήδη υπάρχουσα θεωρία που περιγράφει τη συμπεριφορά των αισθητήρων παραμόρφωσης βασισμένων σε νανοσωματίδια, εμπλουτίστηκε προκειμένου να συμπεριλάβει και τα νανοσωματίδια που φτιάχνονται με ιοντοβολή. Καθ 'όλη τη διάρκεια της μελέτης, προσδιορίστηκε με επιτυχία το κρίσιμο πάχος του φιλμ αλουμίνας για την απομόνωση και την επαρκή προστασία των νανοσωματιδίων από την υγρασία. Εκτός από αυτό, αναπτύχθηκε μία προσομοίωση Monte Carlo, που γράφτηκε στο Matlab, για να προβλέψει τις ευαισθησίες διαφόρων φιλμ νανοσωματιδίων υπό παραμόρφωση. Η προσομοίωση είναι ικανή να προβλέψει την ευαισθησία στην παραμόρφωση για διαφορετικές διαμέτρους (μεγέθη) νανοσωματιδίων καθώς και για διαφορετικές επιφανειακές καλύψεις, και αναδύεται ως ένα ισχυρό υπολογιστικό εργαλείο για το σχεδιασμό και τη βελτιστοποίηση συσκευών με βάση νανοσωματίδια. Η προσομοίωση θα μπορούσε να επεκταθεί και σε άλλα νανοσύνθετα υλικά που χρησιμοποιούνται σε εφαρμογές με εύκαμπτα ή ελαστικά ηλεκτρονικά. Επιπλέον, παρουσιάζονται κάποιοι εξαιρετικά ευαίσθητοι εύκαμπτοι αισθητήρες παραμόρφωσης που σχηματίστηκαν από ένα δίκτυο μεταλλικών νανοσωματιδίων πάνω από ένα ραγισμένο λεπτό φιλμ αλουμίνας. Η ευαισθησία των αισθητήρων εξαρτάται από την πυκνότητα της επιφάνειας των νανοσωματιδίων καθώς και από το πάχος της αλουμίνας. Και οι δύο παράμετροι μπορούν να ελεγχθούν πολύ καλά μέσω των τεχνικών εναπόθεσης. Οι αισθητήρες έδειξαν την μεγαλύτερη ευαισθησία που είχε δημοσιευθεί, έως την ημέρα τις συγγραφής, της τάξης των 2,6 x Ε8. Αυτή η τιμή επιτεύχθηκε από τους αισθητήρες για παραμορφώσεις έως 7,2%, ενώ παράλληλα εμφάνισαν υψηλή ευαισθησία σε μεγάλο εύρος παραμορφώσεων από 0,1% έως 7,2%. Η ανάλυση ακολουθείται και από μια συζήτηση που φωτίζει τη φυσική κατανόηση της λειτουργίας του αισθητήρα, η οποία επιτρέπει τον συντονισμό της απόδοσής του σύμφωνα με τις παραπάνω παραμέτρους. Τέλος, αναπτύχθηκε μια διάταξη από αισθητήρες παραμόρφωσης πάνω σε ένα γάντι που μετρήθηκαν από ένα προσαρμοσμένο κύκλωμα. Οι μετρήσεις του κυκλώματος συγκρίθηκαν με μετρήσεις από ένα Keithley 2400 και βρέθηκαν να είναι πολύ ακριβείς στο εύρος λειτουργίας του κυκλώματος.