Fabrication and optical properties of silicon nanopillars

2D silicon nanopillars arrays for photonics

“…Si NPs with low aspect ratio was investigated too [14][15][16]. We investigate the Si NPs with an average aspect ratio [18,19]. We determine the relation between scattering characteristics and geometrical size of the Si NPs.…”

Спектральные Характеристики Отражения Микромассивов Кремниевых Нанопилларов-=sup=-*-=/Sup=-

“…Для формирования маски в резисте в виде ансамблей пилларов различного диаметра варьировалась электронная доза экспонирова-ния на точку. Подробно процесс формирования Si НП описан в наших работах [13][14][15][16]. Следует отметить, что минимальные размеры маски (представляющей собой пиллары в резисте) ограничены влиянием эффектов близости при экспонировании и адгезией пленки к подложке.…”

“…Диэлектрические свойства такой среды меня-ются периодически в двух измерениях с характерным пространственным масштабом периодичности порядка оптической длины волны. Кроме этого, ранее мы одни из первых отработали методику формирования упо-рядоченных массивов Si НП посредством электронно-лучевой литографии на негативном резисте с последую-щим реактивным ионным травлением [13][14][15][16]. Травление кремниевых наноструктур через маску из алюминия [5] или хрома [8] приводит к дополнительному легированию кремния.…”

Micro‐/Nanopillars for Micro‐ and Nanotechnologies Using Inductively Coupled Plasmas

“…As appropriate nanofabrication methods become more and more available, different fields have started to benefit from the miniaturization of nanopillars: ongoing research has demonstrated the great potential of nanopillars in photonic crystal structures for the control of a broad range light propagation in broad range of novel optoelectronic devices. Replacing micropillars with nanopillars has proven extremely beneficial also in fields such as nanotechnology, bioelectronics, and biosensors, where devices are being made with increasingly smaller features .…”